Ann an 2020, chaidh còrr air trillean chips a thoirt a-mach air feadh an t-saoghail, a tha co-ionann ri 130 chips a tha fo shealbh agus air an cleachdadh le gach neach air a’ phlanaid.Ach a dh’ aindeoin sin, tha an gainnead chip o chionn ghoirid a ’leantainn air adhart a’ sealltainn nach eil an àireamh seo fhathast air a ’chrìoch as àirde a ruighinn.
Ged a dh’ fhaodar chips a thoirt a-mach aig ìre cho mòr mar-thà, chan e obair fhurasta a th’ ann an dèanamh.Tha am pròiseas saothrachaidh chips iom-fhillte, agus an-diugh còmhdaichidh sinn na sia ceumannan as deatamaiche: tasgadh, còmhdach photoresist, lithography, msaa, cuir a-steach ian, agus pacadh.
Tasgaidh
Bidh an ceum tasgaidh a’ tòiseachadh leis an wafer, a tha air a ghearradh bho siolandair silicon fìor-ghlan 99.99% (ris an canar cuideachd “silicon ingot”) agus air a lìomhadh gu crìoch gu math rèidh, agus an uairsin thèid film tana de stiùiriche, insuladair, no stuth leth-chonnsair a thasgadh. air an wafer, a rèir riatanasan structarail, gus an tèid a’ chiad shreath a chlò-bhualadh air.Canar “tasgadh” ris a’ cheum chudromach seo gu tric.
Mar a bhios sgoltagan a’ fàs nas lugha agus nas lugha, bidh pàtrain clò-bhualaidh air wafers a’ fàs nas iom-fhillte.Tha adhartasan ann an tasgadh, seudaireachd agus liotagrafaidheachd deatamach ann a bhith a’ dèanamh chips a-riamh nas lugha agus mar sin a’ stiùireadh leantainneachd Lagh Moore.Tha seo a’ toirt a-steach dòighean ùr-ghnàthach a bhios a’ cleachdadh stuthan ùra gus am pròiseas tasgaidh a dhèanamh nas mionaidiche.
Còmhdach Photoresist
Bidh wafers an uairsin air an còmhdach le stuth photosensitive ris an canar “photoresist” (ris an canar cuideachd “photoresist”).Tha dà sheòrsa photoresists ann - "photoresists adhartach" agus "photoresists àicheil".
Is e am prìomh eadar-dhealachadh eadar photoresists adhartach agus àicheil structar ceimigeach an stuth agus an dòigh anns a bheil an photoresist a ’dèiligeadh ri solas.Ann an cùis photoresists dearbhach, bidh an raon a tha fosgailte do sholas UV ag atharrachadh structar agus a 'fàs nas so-leònte, agus mar sin ga ullachadh airson sgudal agus tasgadh.Air an làimh eile, bidh photoresists àicheil a 'dèanamh polymerize anns na raointean a tha fosgailte do sholas, a tha gan dèanamh nas duilghe an sgaoileadh.Is e photoresists adhartach an fheadhainn as motha a chleachdar ann an saothrachadh semiconductor oir is urrainn dhaibh rùn nas àirde a choileanadh, gan dèanamh nan roghainn nas fheàrr airson ìre lithography.Tha a-nis grunn chompanaidhean air feadh an t-saoghail a bhios a’ dèanamh photoresists airson saothrachadh semiconductor.
Photolithography
Tha photolithography deatamach anns a’ phròiseas cinneasachaidh chip oir bidh e a’ dearbhadh cho beag sa dh’ fhaodas na transistors air a’ chip a bhith.Aig an ìre seo, thèid na wafers a chuir ann an inneal photolithography agus tha iad fosgailte do sholas ultraviolet domhainn.Iomadh uair tha iad mìltean de thursan nas lugha na gràn gainmhich.
Thathas a’ ro-mheasadh solas air an wafer tro “phlàta masg” agus tha an optics lithography (lionsa an t-siostam DUV) a’ crìonadh agus a’ cuimseachadh a’ phàtran cuairteachaidh dealbhaichte air a’ phlàta masg air an photoresist air an wafer.Mar a chaidh a mhìneachadh roimhe, nuair a bhuaileas an solas an photoresist, bidh atharrachadh ceimigeach a ’tachairt a bhios a’ clò-bhualadh a ’phàtrain air a’ phlàta masg air a ’chòmhdach photoresist.
Is e obair dhoirbh a th’ ann a bhith a’ faighinn a’ phàtran fosgailte ceart gu leòr, le eadar-theachd ghràineanan, ath-fhilleadh agus uireasbhaidhean corporra no ceimigeach eile uile comasach sa phròiseas.Sin as coireach gum feum sinn uaireannan am pàtran nochdaidh deireannach a bharrachadh le bhith a’ ceartachadh gu sònraichte am pàtran air an masg gus am bi am pàtran clò-bhuailte a’ coimhead mar a tha sinn ag iarraidh.Bidh an siostam againn a’ cleachdadh “lithography coimpiutaireachd” gus modalan algorithmach a chur còmhla le dàta bhon inneal lithography agus wafers deuchainn gus dealbhadh masg a thoirt gu buil a tha gu tur eadar-dhealaichte bhon phàtran nochdaidh deireannach, ach is e sin a tha sinn airson a choileanadh oir is e sin an aon dòigh air an pàtran nochdaidh a tha thu ag iarraidh.
Eiteadh
Is e an ath cheum an photoresist truaillidh a thoirt air falbh gus am pàtran a tha thu ag iarraidh a nochdadh.Tron phròiseas “etch”, tha an wafer air a bhruich agus air a leasachadh, agus tha cuid den photoresist air a nighe dheth gus pàtran seanail 3D fosgailte a nochdadh.Feumaidh am pròiseas sìolachaidh feartan giùlain a chruthachadh gu mionaideach agus gu cunbhalach gun a bhith a’ toirt buaidh air ionracas iomlan agus seasmhachd structar na chip.Tha dòighean clò-bhualaidh adhartach a’ toirt cothrom do luchd-saothrachaidh chip pàtranan dùbailte, ceithir-cheàrnach agus stèidhichte air spacer a chleachdadh gus meudan beaga de dhealbhaidhean chip an latha an-diugh a chruthachadh.
Coltach ri photoresists, tha eitseáil air a roinn ann an seòrsachan “tioram” agus “fliuch”.Bidh sgrìobadh tioram a’ cleachdadh gas gus am pàtran fosgailte air an wafer a mhìneachadh.Bidh searbhag fliuch a’ cleachdadh dhòighean ceimigeach gus an wafer a ghlanadh.
Tha dusanan de shreathan air sliseag, agus mar sin feumar smachd a chumail air sgudal gu faiceallach gus nach dèan e cron air na sreathan bunaiteach de structar chip ioma-fhilleadh.Ma tha an t-adhbhar airson etching a 'cruthachadh cuas anns an structar, feumar dèanamh cinnteach gu bheil doimhneachd a' chuan dìreach ceart.Tha cuid de dhealbhaidhean chip le suas ri 175 sreathan, leithid 3D NAND, a 'dèanamh a' cheum sgudail gu sònraichte cudromach agus duilich.
Ion-stealladh
Aon uair ‘s gu bheil am pàtran air a shnaidheadh air an wafer, tha an wafer air a spreadhadh le ionsan dearbhach no àicheil gus feartan giùlain pàirt den phàtran atharrachadh.Mar stuth airson wafers, chan eil an stuth amh silicon na insuladair foirfe no na stiùiriche foirfe.Bidh feartan giùlain Silicon a 'tuiteam am badeigin eatarra.
Canar “ionization”, ris an canar cuideachd “ionization”, ris an canar “ionization” a bhith a’ stiùireadh ionsan le cosgais a-steach don chriostail sileacain gus an tèid smachd a chumail air sruthadh an dealain gus na suidsichean dealanach a chruthachadh a tha nam blocaichean togail bunaiteach den chip, na transistors.Às deidh an còmhdach a bhith air a ionachadh, thèid an photoresist a tha air fhàgail a chaidh a chleachdadh gus an raon gun chòmhdach a dhìon a thoirt air falbh.
Pacadh
Tha feum air mìltean de cheumannan gus sliseag a chruthachadh air wafer, agus bheir e barrachd air trì mìosan a dhol bho dhealbhadh gu cinneasachadh.Gus a 'chip a thoirt air falbh bhon wafer, tha e air a ghearradh ann an sgoltagan fa leth le bhith a' cleachdadh sàbh daoimean.Tha na sgoltagan sin, ris an canar “bàs lom,” air an sgaradh bho wafer 12-òirleach, am meud as cumanta a thathas a’ cleachdadh ann an saothrachadh leth-chonaltraidh, agus leis gu bheil meud nan sgoltagan ag atharrachadh, faodaidh mìltean de chips a bhith ann an cuid de wafers, agus cuid eile anns nach eil ach beagan. dusan.
Bidh na wafers lom sin an uairsin air an cur air “substrate” - substrate a bhios a’ cleachdadh foil meatailt gus na comharran cuir a-steach is toraidh a stiùireadh bhon wafer lom chun chòrr den t-siostam.Tha e an uairsin air a chòmhdach le “sinc teas”, inneal dìon beag meatailt còmhnard anns a bheil inneal-fuarachaidh gus dèanamh cinnteach gum fuirich a’ chip fionnar rè obrachadh.
Pròifil companaidh
Tha Zhejiang NeoDen Technology Co., Earranta air a bhith a’ saothrachadh agus a’ cur a-mach grunn innealan beaga tagh is àite bho 2010. A’ gabhail brath air an R&D saidhbhir againn fhèin, cinneasachadh air a dheagh thrèanadh, tha NeoDen a’ cosnadh deagh chliù bho luchd-ceannach air feadh an t-saoghail.
le làthaireachd cruinneil ann an còrr air dùthchannan 130, coileanadh sàr-mhath, fìor chruinneas agus earbsachd NeoDenInnealan PNPdèan iad foirfe airson R&D, prototyping proifeasanta agus cinneasachadh baidse beag gu meadhanach.Bidh sinn a’ toirt seachad fuasgladh proifeasanta de uidheamachd SMT aon-stad.
Cuir ris: Àir.18, Tianzihu Avenue, Tianzihu Town, Anji County, Huzhou City, Zhejiang Province, China
Fòn: 86-571-26266266
Ùine puist: Giblean-24-2022